主要技術(shù)參數(shù)
1、工作區(qū)間：350*350*900
2、極限溫度：1600℃并保溫2小時(shí)
3、使用溫度：小于1550℃
4、設(shè)計(jì)加熱功率：90kVA
5、溫度均勻度：低中溫<±10℃ 高溫< ±5℃
6、極限其真空：2Pa（在冷態(tài)、空爐、干凈的爐內(nèi)條件下）
7、泄露率：不大于20pa/h (24小時(shí)平均值、在冷態(tài)、空爐、干凈的爐內(nèi)條件下)
8、額定電壓：三相380V ±10%
9、供給冷卻水：壓力：0.2~0.4Mpa 溫度：10--30℃ 流量.>10M3/H
10、發(fā)熱體：石墨棒
11、控制：脫蠟、燒結(jié)、升溫、保溫、爐壓及各閥動(dòng)作均應(yīng)自動(dòng)連鎖。
12、氣體供給：配氣盤(pán)上可分別控制H2、Ar壓力及流量。