儀器型號 VMA-3020CNC VMA-4030CNC VMA-5040CNC
X.Y.Z方向移動行程  300x200x200mm 400x300X200mm 500x400X200mm
Z軸實測高度范圍 140mm 140mm 140mm
X、Y分辨率    0.001mm 0.001mm 0.001mm
鏡頭     “源興”0.7-4.5X光學(xué)變倍鏡頭
影像放大倍率 20X~156X 20X~156X 20X~156X
視場范圍 10~1.6mm 10~1.6mm 10~1.6mm
影像測量精度 （2.4+L/200）um
重復(fù)精度 3um
光柵尺 英國“RENISHAW”分辨率為1um金屬光柵尺
攝像頭 美國TEO1/3高清模擬彩色攝像機(jī)(或者1/2sony)模擬彩色攝像機(jī)+導(dǎo)航CCD
伺服電機(jī) “亞控”直流伺服電機(jī)
導(dǎo)軌 日本“THK”直線導(dǎo)軌
傳動方式 臺灣“TBI”絲桿
操作方式 CNC程序控制
表面光源 8區(qū)程控光源
輪廓光源 無極連續(xù)可調(diào)LED光源
測量軟件 影像式Y(jié)R-CNC全自動專用測量軟件（帶自動尋邊）
電腦控制系統(tǒng) 戴爾品牌電腦19寸液晶顯示器
儀器基座 00級花崗石平臺
外形尺寸 850*600*1200 1000×750×1200mm 970×720×1100mm
儀器重量 330kg 560kg 630kg
選購件 0.5X、2X攝影目鏡，可增加或降低倍數(shù)
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