儀器優(yōu)點：
（a）分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
（b）X射線熒光光譜跟樣品的化學結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。
（c）非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
（d） X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質(zhì)上屬同一族的元素也能進行分析。可分析的元素范圍從Na到U。WTH2000型的元素分析范圍是Na到U，含量范圍為10PPm～100％。因此該法已用于銅合金、鎳合金中高含量Cu、Ni的分析.
（e）分析精密度高。WTH－2000型的分析精度達0.1％，檢出限可達10ppm。
（f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。